[三钢闽光股票]至纯科技(603690)：高纯工艺龙头 发力湿法清洗设备
高纯工艺系统国产龙头，布局半导体湿法清洗设备
公司持续受益于下游泛半导体行业高景气度。中国集成电路市场已经成为全球第一大市场，半导体制造业国产化是主流趋势。公司对标国际一流企业，为下游行业提供高纯工艺系统整体解决方案，横向布局具有国产替代力的湿法清洗设备。公司未来增长主要来自于半导体湿法清洗设备放量及延伸的晶圆回收业务，以及并购的波汇科技在光传感领域的增长。我们预计公司2019-2021 年EPS 分别0.39/0.73/1.19 元，目标价35.93-39.07 元，首次覆盖，给予“增持”评级。
国产替代驱动，高纯工艺市场空间广阔
根据SEMI 预计，2020 年中国半导体设备市场规模将达179 亿美元，占全球市场20%。我国集成电路市场高度依赖进口，国家出台多项利好政策，设立了国家集成电路产业基金投资制造、设计、封测、装备材料。行业发展和政策扶持有望带动高纯工艺市场持续增长，我们预计2020 年中国高纯工艺系统市场有望达73.03 亿元，2018-2020 年复合增长率24%。
产品具备国产代替能力，重视自主研发实力
高纯工艺水平已经实现ppb(十亿分之一)级的不纯物控制。湿法设备领域同时布局槽式和单片式清洗机，二者技术水平均可提供8~12 寸晶圆制造中所需的湿法工艺，成功进入SK 海力士、中芯国际、华力微电子、长江存储的供应链。公司具备高度自主研发水平，实现了设备高度自产，有效控制生产成本。目前公司拥有覆盖气体类系统，化学品系统、液体类系统等41 项核心技术产品，多项核心产品处于研发阶段，技术储备充足。
收购波汇科技+可转债募投，业务版图再扩大
波汇科技的光感器系统可以有效的对高纯工艺系统及工艺制程设备中的温度、压力、溶液浓度、液体泄漏、气体浓度实施精准地监控，光传感技术协同效应提高产品竞争力，有望实现智慧工厂转型升级。公司2019 年12月20 日发行3.56 亿元可转债，2 亿元用于晶圆再生基地项目，主要开展再生晶圆的加工服务，达产后将实现年产12 英寸硅再生晶圆84 万片的产出能力，填补安徽省内空白。
高纯工艺系统国产龙头，首次覆盖并给予“增持”评级我们预计公司2019-2021 年实现收入13.05、18.10 及25.44 亿元，增速93.60%、38.71%和40.54%。19-21 年公司净利润分别为1.01/1.90/3.07亿元，对应EPS 分别0.39/0.73/1.19 元，对应PE 为84、44、27 倍。我们对公司高纯业务、传感器业务采用市盈率PE 方法估值，对半导体业务采用市销率PS 方法估值，各部分对应2020 年目标市值为28.75-31.94、21.12-22.44、43.2-46.8 亿市值，目标总市值93.07-101.18 亿元，对应目标价35.93-39.07 元，首次覆盖，给予“增持”评级。
风险提示：半导体政策推进、资金扶持不及预期;清洗设备研发投入和技术突破不及预期;下游市场对高纯工艺系统和半导体清洗设备需求降低;关键零部件采购不足;并购子公司业绩不及承诺。
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